(苦读书 www.kudushu.org) 命令如狂风骤雨!整个车间瞬间被点燃!所有人忘记了疲惫,忘记了怀疑,像奔向圣水的沙漠旅人!接线!调试!开机!
那小小的银灰色“黑盒子”被小心翼翼地接入光刻机主控系统庞大的接口阵列中。
嗡——
一声低沉的启动自检蜂鸣后。
嗡!!!!!
驱动供件台和掩模板的双工位精密伺服马达首次发出了极其悦耳柔和、如同龙脉苏醒的顺畅嗡鸣!
联接着两台工作台最高精度激光干涉仪的巨型监控屏幕骤然亮起!
无数代表着位置、速度、实时误差、温度补偿、微振动抵消效能的复杂曲线,如同被造物主亲手绘制、被无形的上帝之手梳理熨平,以前所未有的清晰、稳定、柔顺的方式舒展开来!流畅!高效!精准得令人灵魂颤栗!
动态位置误差峰峰值。
0.8纳米!
掩模同步补偿延迟。
微秒级!
稳定性冗余度。
120%!
远超之前任何理论预测!
远超ASML控制系统对外模糊公布的综合性能指标!
一个全新的、充满了龙夏风格的、为龙夏自研硬件平台量身定制的、拥有完全自主核心算法的“光刻机大脑”——在此刻诞生!
寂静!绝对的寂静!
然后——
轰!!!
不是欢呼!
而是一大片不由自主倒抽冷气的震撼声浪!如同台风过境!
所有人都盯着那屏幕上如同艺术般精确运行的数据曲线,如同目睹神迹降临!许多人捂住了嘴,眼泪不受控制地涌了出来!
袁涛死死盯着屏幕,身体僵硬如同石化,足足过了十几秒,他才抬起手,狠狠抹了一把脸,脸上分不清是汗水还是泪水。
他没有高喊,只是用尽全身力气,从喉咙深处挤出两个嘶哑到变调的字。
“真……行!”
整个光刻机所有硬件到软件、从材料到工艺、从光源到镜头的、最后一个!最坚固!最无形!也曾被认为最不可逾越的障碍——彻底崩塌!龙夏,完全实现了EUV光刻技术的全链条自主!
那条被西方吹嘘为需要集成全球数千家顶级供应商智慧的产业链神话,被龙夏独自击得粉碎!
一个月后。
龙夏部落腹地,深藏于群山环绕中的一体化军工厂,戒备最为森严的“甲字1号”芯片超洁净车间。淡黄色的无尘灯光像瀑布般均匀洒落,照亮着中央区域那个庞然大物。
那是整个龙夏工业皇冠上刚刚镶嵌上去的、最耀眼夺目的新星!
——“龙光刻-1号”。
由龙夏部落自主研发、自主知识产权的极紫外光刻整机!
它巨大的骨架银光流淌,复杂的管道与线缆如同精密的神经丛,巨大的真空腔体如同钢铁巨兽的心脏,而那经过无数次千锤百炼、最终稳定激射出纯粹13.5nm极紫外光的光源核心,则散发着微微的幽蓝光芒。
两台工作台在磁悬浮轨道上待命微颤,等待着注入生命的指令。
空气中弥漫着一种无形的、令人心悸的静电场。没有欢呼,没有喧哗,所有穿着最高等级防尘服的研究员、工程师、军工厂的八级老师傅,全都屏息凝神,如同环绕着圣物的信徒。
苏定平站在主控台前,手指最终按下了启动键。
无声的洪流开始奔腾。
硅晶圆载入、真空舱闭合、激光预热、掩膜版精准对位……
极紫外光源骤然点亮!
那束无形的、足以刻画出星球文明新地图的光束,经过数十片自主生产、精度逆天的反射镜折射、聚焦,精准地投射在涂满光刻胶的硅片上!
刻蚀!显影!……
时间一分一秒在巨大的期待与死寂中流过。
当第一块完成光刻步骤的硅晶圆最终被机械臂取出发送到扫描式电子显微镜进行晶片在线图像检测时,所有人围拢到检测室的防尘门外,紧张地看着里面的操作员。
操作员的手指在精密控制台上移动着。扫描光束开始在硅片上纵横。
巨大的屏幕上,开始逐行显示出高精度的线条图像。
第一条……第三条……第十条……整个区域!
放大!再放大!
屏幕上最终定格在那令人目眩神迷的精密电路图案!
7nm FinFET晶体管!立体三维结构清晰!栅极清晰!沟道清晰!线条边缘锐利度超过预期!没有短路断路!完美!
自动分析软件飞速处理数据,最终在屏幕下方弹出一个刺眼夺目的绿色框体。
【综合良品率。92。1%!】
“成功了!!!”
“我们自己的EUV!自己造的7nm芯片!”
“92%!92%!!!”
整个车间!不!整个军工厂!在这一刻彻底沸腾!失去了所有矜持!
掌声!撕心裂肺的哭喊声!疯狂的击打金属壁的撞击声!如同火山爆发般冲击着每个人的耳膜!
袁涛死死抓着旁边一个年轻研究员的手臂,因为用力过猛掐出了红印子还不自知,他老泪纵横,像个孩子一样嚎啕大哭!
他猛地转身,一把抓住旁边同样激动得浑身发抖、眼中含泪的郭雪云,指着站在人群中央、似乎被这巨大的喜悦冲击得有些茫然的苏定平,用尽此生最大的力气嘶吼。
“光刻机……光刻机之父!当之无愧!”
这称号如同电流般瞬间传遍!
“光刻机之父!”
“光刻机之父!!”
无数声音汇聚起来,充满了无限的敬仰和狂热!
欢呼持续了很久。
苏定平的心终于落回实处,疲惫如同潮水般再次涌上,但他嘴角的笑意却无法控制地扬起。
他拿起内部通讯器。
“给中创科技的秦总,明珠女士发邀请。请他们务必抽时间来一趟,看看我们龙心实验室……准备兑现什么合同。”
几天后,三辆黑色防弹轿车一路绿灯驶入戒备森严的地下军工厂入口。
秦百川看着窗外完全不同于普通厂区的重兵布防和高科技检测装置,苍老的手微微有些颤抖。
“明珠……我怎么感觉……像在做梦……”
秦明珠握住了父亲的手,她的手心也沁出汗。
“爸……我知道您的意思……可……可这也太快了!
一年多!才一年多啊!”
饶是她心理承受能力极强,此刻也感到一种强烈的不真实感。
车子停在“甲字1号”车间外。
早已接到通知的唐平也匆匆赶来,脸上带着好奇和一探究竟的神情。
他收到苏定平的“成果邀请”时,既带着一份期盼,又怀着巨大的疑虑。光刻机?龙夏自研?全自主?这在全球都是一项被西方严密垄断近40年的顶尖科技!
其难度丝毫不亚于那个惊天动地的仿星器!龙心实验室能同时在两条地狱级科技路线上狂奔?他内心深处的声音是。
这不可能!
特殊的高压风淋通道过后,三人穿上最高防护级别的无尘服,在接待员引导下,走入那巨大的超级洁净车间。
巨大的“龙光刻-1号”如同一条蛰伏的银灰色金属巨龙,静静地卧在车间中央。
那些流线型的机械臂、散发着幽蓝光芒的聚焦系统和如同艺术品般精细的工作台区域,充满了远超工业品的精密美感。
秦百川一看到机器本体,浑浊的老眼瞬间亮了!如同燃起了两簇火苗!
“就是它!明珠!真的造出来了!你看那光!
那线条!真漂亮!”
他激动得声音都在发颤。
秦明珠紧紧捂住嘴才没惊呼出声!眼前钢铁巨兽的存在本身就是一种强大的视觉冲击!
这是龙夏多少代科学家梦寐以求却始终不敢想象的成就?它真的就在眼前!
“爸……是真的……都是真的!”
巨大的幸福感和酸涩的骄傲冲击着她的眼眶。
苏定平微笑着走过来,目光扫过激动难言的秦家父女。
当他看到唐平那张依旧写满了震撼、却明显拧着、眉头紧缩、眼神里充满了更深层次忧虑的脸时,微微停顿了一下,笑容依旧不变地做了个请的手势。
“唐指挥也觉得震撼吧?欢迎各位莅临,近距离看看咱们龙夏部落自己的芯片雕刻大师。后面就是我们的流片初检区……”
秦百川和秦明珠立刻被那庞然巨物和空气中弥漫的“成功气息”吸引,不由自主向着运转区隔离玻璃墙后的那些精密操控台走去。
唐平却不由自主地停下脚步,离那充满高科技气息的巨兽稍远一些。
他背着手,目光并没有盯着机器本身,而是扫过车间里那些依旧还在调试部分次级设备、或者操作高精度检测平台的工程师们绷紧的脸。
看着那些闪烁着复杂数据的控制屏幕,听着设备运转时低沉的嗡鸣,一种比他刚进来时感受到纯粹的科技震撼更为复杂的情绪占据了他的心头。
震撼有。
但……
“这机器……真是好东西啊……”
唐平终于转过头,面对着苏定平,眉头却皱得更深了,声音低沉而凝重。
“定平,我不是怀疑你们龙心的贡献和能力……可是你知道吗……”
他指了指那巍峨的机器。
“这玩意儿……从设计原理到材料突破到精密加工到软件控制……每一项单独拿出来,其复杂度和技术高度……”
他吸了一口气,仿佛要吐出胸中巨大的压力。
“都和你们那个仿星器……没什么太大差别。弄成一个,都得倾举国科技精英几十年之力,还得有点运气眷顾才行……”
他死死盯着苏定平平静的眼睛,问出了那个盘旋在所有知情龙夏高层心头、却无法回避的终极忧虑。
“一年之内,你们……硬生生捅穿了两个堪称科技领域珠穆朗玛峰级别的壁垒啊……”
他眼中没有了欣赏科技新品的兴奋,取而代之的是一种沉重的、身为负责装备科技发展高层官员才有的终极压力感和一丝不易察觉的……恐惧。
“这后面……真的没问题吗?定平。
这种爆炸性的产出速度和……科技树点亮的模式……”
参观结束后,苏定平刚送走激动不已、在“龙光刻-1号”前一步三回头的秦家父女,便被唐平悄然引到了车间旁一处僻静角落。
这里只剩下精密仪器运转的低沉嗡鸣,隔绝了即将沸腾的人声噪动。
唐平背对着光刻机庞大的身影,脸上的凝重几乎要从皱纹里溢出来,方才在车间里那压得人喘不过气的忧虑此刻更是赤裸裸地挂满眉梢。
他搓了搓手,像是为了驱散寒意,也像是为了接下来的试探积攒点底气。
“苏专家,这次龙光刻-1号的成就,可谓是惊天动地!连雄鹰那边的顶尖实验室都望尘莫及啊!”
他顿了顿,身体微微前倾,声音压得极低。
“以您这样的才能见识,想必对世界上其他顶尖科技势力的底蕴也有独到看法。您看…雄鹰部落,这个庞然大物,未来发展轨迹会是怎样?它真的还能继续引领吗?”
苏定平闻言,嘴角微微向上弯起,那弧度里没有傲慢,只有一种洞穿世事的从容。
他端起桌上的茶杯,轻轻吹开浮叶,呷了一口,这才抬眼看向唐平,目光清澈而坚定。
“唐代表,部落和国家的发展,靠的是自力更生,汇聚众志。我们有句老话,志之所趋,无远弗届;穷山距海,不能限也。
过去的差距,是存在的,我们承认,但我们更相信赶超的力量。”
他放下茶杯,语气平缓却带着千钧之力。
“至于雄鹰部落?它当然有其深厚根基。
但是,在我看来,龙夏的前途,龙夏科技的未来,只要路子走对了,人心凝聚了,超越他们,是历史的必然,只是时间问题。”
这番话如同一盆冰水,浇在唐平仅存的一丝幻想上。
那清晰的拒绝,那对龙夏未来无可动摇的信心,让唐平最后一点念想也破灭了。
他脸上的笑容彻底僵住,眼底掠过一丝不易察觉的恼怒和慌乱。
“呵呵,苏专家真是志向高远,令人钦佩!佩服,佩服!”
唐平干笑了两声,匆忙站起身,几乎是迫不及待地逃离压抑的气氛。苦读书 www.kudushu.org
那小小的银灰色“黑盒子”被小心翼翼地接入光刻机主控系统庞大的接口阵列中。
嗡——
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嗡!!!!!
驱动供件台和掩模板的双工位精密伺服马达首次发出了极其悦耳柔和、如同龙脉苏醒的顺畅嗡鸣!
联接着两台工作台最高精度激光干涉仪的巨型监控屏幕骤然亮起!
无数代表着位置、速度、实时误差、温度补偿、微振动抵消效能的复杂曲线,如同被造物主亲手绘制、被无形的上帝之手梳理熨平,以前所未有的清晰、稳定、柔顺的方式舒展开来!流畅!高效!精准得令人灵魂颤栗!
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0.8纳米!
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微秒级!
稳定性冗余度。
120%!
远超之前任何理论预测!
远超ASML控制系统对外模糊公布的综合性能指标!
一个全新的、充满了龙夏风格的、为龙夏自研硬件平台量身定制的、拥有完全自主核心算法的“光刻机大脑”——在此刻诞生!
寂静!绝对的寂静!
然后——
轰!!!
不是欢呼!
而是一大片不由自主倒抽冷气的震撼声浪!如同台风过境!
所有人都盯着那屏幕上如同艺术般精确运行的数据曲线,如同目睹神迹降临!许多人捂住了嘴,眼泪不受控制地涌了出来!
袁涛死死盯着屏幕,身体僵硬如同石化,足足过了十几秒,他才抬起手,狠狠抹了一把脸,脸上分不清是汗水还是泪水。
他没有高喊,只是用尽全身力气,从喉咙深处挤出两个嘶哑到变调的字。
“真……行!”
整个光刻机所有硬件到软件、从材料到工艺、从光源到镜头的、最后一个!最坚固!最无形!也曾被认为最不可逾越的障碍——彻底崩塌!龙夏,完全实现了EUV光刻技术的全链条自主!
那条被西方吹嘘为需要集成全球数千家顶级供应商智慧的产业链神话,被龙夏独自击得粉碎!
一个月后。
龙夏部落腹地,深藏于群山环绕中的一体化军工厂,戒备最为森严的“甲字1号”芯片超洁净车间。淡黄色的无尘灯光像瀑布般均匀洒落,照亮着中央区域那个庞然大物。
那是整个龙夏工业皇冠上刚刚镶嵌上去的、最耀眼夺目的新星!
——“龙光刻-1号”。
由龙夏部落自主研发、自主知识产权的极紫外光刻整机!
它巨大的骨架银光流淌,复杂的管道与线缆如同精密的神经丛,巨大的真空腔体如同钢铁巨兽的心脏,而那经过无数次千锤百炼、最终稳定激射出纯粹13.5nm极紫外光的光源核心,则散发着微微的幽蓝光芒。
两台工作台在磁悬浮轨道上待命微颤,等待着注入生命的指令。
空气中弥漫着一种无形的、令人心悸的静电场。没有欢呼,没有喧哗,所有穿着最高等级防尘服的研究员、工程师、军工厂的八级老师傅,全都屏息凝神,如同环绕着圣物的信徒。
苏定平站在主控台前,手指最终按下了启动键。
无声的洪流开始奔腾。
硅晶圆载入、真空舱闭合、激光预热、掩膜版精准对位……
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那束无形的、足以刻画出星球文明新地图的光束,经过数十片自主生产、精度逆天的反射镜折射、聚焦,精准地投射在涂满光刻胶的硅片上!
刻蚀!显影!……
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当第一块完成光刻步骤的硅晶圆最终被机械臂取出发送到扫描式电子显微镜进行晶片在线图像检测时,所有人围拢到检测室的防尘门外,紧张地看着里面的操作员。
操作员的手指在精密控制台上移动着。扫描光束开始在硅片上纵横。
巨大的屏幕上,开始逐行显示出高精度的线条图像。
第一条……第三条……第十条……整个区域!
放大!再放大!
屏幕上最终定格在那令人目眩神迷的精密电路图案!
7nm FinFET晶体管!立体三维结构清晰!栅极清晰!沟道清晰!线条边缘锐利度超过预期!没有短路断路!完美!
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【综合良品率。92。1%!】
“成功了!!!”
“我们自己的EUV!自己造的7nm芯片!”
“92%!92%!!!”
整个车间!不!整个军工厂!在这一刻彻底沸腾!失去了所有矜持!
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袁涛死死抓着旁边一个年轻研究员的手臂,因为用力过猛掐出了红印子还不自知,他老泪纵横,像个孩子一样嚎啕大哭!
他猛地转身,一把抓住旁边同样激动得浑身发抖、眼中含泪的郭雪云,指着站在人群中央、似乎被这巨大的喜悦冲击得有些茫然的苏定平,用尽此生最大的力气嘶吼。
“光刻机……光刻机之父!当之无愧!”
这称号如同电流般瞬间传遍!
“光刻机之父!”
“光刻机之父!!”
无数声音汇聚起来,充满了无限的敬仰和狂热!
欢呼持续了很久。
苏定平的心终于落回实处,疲惫如同潮水般再次涌上,但他嘴角的笑意却无法控制地扬起。
他拿起内部通讯器。
“给中创科技的秦总,明珠女士发邀请。请他们务必抽时间来一趟,看看我们龙心实验室……准备兑现什么合同。”
几天后,三辆黑色防弹轿车一路绿灯驶入戒备森严的地下军工厂入口。
秦百川看着窗外完全不同于普通厂区的重兵布防和高科技检测装置,苍老的手微微有些颤抖。
“明珠……我怎么感觉……像在做梦……”
秦明珠握住了父亲的手,她的手心也沁出汗。
“爸……我知道您的意思……可……可这也太快了!
一年多!才一年多啊!”
饶是她心理承受能力极强,此刻也感到一种强烈的不真实感。
车子停在“甲字1号”车间外。
早已接到通知的唐平也匆匆赶来,脸上带着好奇和一探究竟的神情。
他收到苏定平的“成果邀请”时,既带着一份期盼,又怀着巨大的疑虑。光刻机?龙夏自研?全自主?这在全球都是一项被西方严密垄断近40年的顶尖科技!
其难度丝毫不亚于那个惊天动地的仿星器!龙心实验室能同时在两条地狱级科技路线上狂奔?他内心深处的声音是。
这不可能!
特殊的高压风淋通道过后,三人穿上最高防护级别的无尘服,在接待员引导下,走入那巨大的超级洁净车间。
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那些流线型的机械臂、散发着幽蓝光芒的聚焦系统和如同艺术品般精细的工作台区域,充满了远超工业品的精密美感。
秦百川一看到机器本体,浑浊的老眼瞬间亮了!如同燃起了两簇火苗!
“就是它!明珠!真的造出来了!你看那光!
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他激动得声音都在发颤。
秦明珠紧紧捂住嘴才没惊呼出声!眼前钢铁巨兽的存在本身就是一种强大的视觉冲击!
这是龙夏多少代科学家梦寐以求却始终不敢想象的成就?它真的就在眼前!
“爸……是真的……都是真的!”
巨大的幸福感和酸涩的骄傲冲击着她的眼眶。
苏定平微笑着走过来,目光扫过激动难言的秦家父女。
当他看到唐平那张依旧写满了震撼、却明显拧着、眉头紧缩、眼神里充满了更深层次忧虑的脸时,微微停顿了一下,笑容依旧不变地做了个请的手势。
“唐指挥也觉得震撼吧?欢迎各位莅临,近距离看看咱们龙夏部落自己的芯片雕刻大师。后面就是我们的流片初检区……”
秦百川和秦明珠立刻被那庞然巨物和空气中弥漫的“成功气息”吸引,不由自主向着运转区隔离玻璃墙后的那些精密操控台走去。
唐平却不由自主地停下脚步,离那充满高科技气息的巨兽稍远一些。
他背着手,目光并没有盯着机器本身,而是扫过车间里那些依旧还在调试部分次级设备、或者操作高精度检测平台的工程师们绷紧的脸。
看着那些闪烁着复杂数据的控制屏幕,听着设备运转时低沉的嗡鸣,一种比他刚进来时感受到纯粹的科技震撼更为复杂的情绪占据了他的心头。
震撼有。
但……
“这机器……真是好东西啊……”
唐平终于转过头,面对着苏定平,眉头却皱得更深了,声音低沉而凝重。
“定平,我不是怀疑你们龙心的贡献和能力……可是你知道吗……”
他指了指那巍峨的机器。
“这玩意儿……从设计原理到材料突破到精密加工到软件控制……每一项单独拿出来,其复杂度和技术高度……”
他吸了一口气,仿佛要吐出胸中巨大的压力。
“都和你们那个仿星器……没什么太大差别。弄成一个,都得倾举国科技精英几十年之力,还得有点运气眷顾才行……”
他死死盯着苏定平平静的眼睛,问出了那个盘旋在所有知情龙夏高层心头、却无法回避的终极忧虑。
“一年之内,你们……硬生生捅穿了两个堪称科技领域珠穆朗玛峰级别的壁垒啊……”
他眼中没有了欣赏科技新品的兴奋,取而代之的是一种沉重的、身为负责装备科技发展高层官员才有的终极压力感和一丝不易察觉的……恐惧。
“这后面……真的没问题吗?定平。
这种爆炸性的产出速度和……科技树点亮的模式……”
参观结束后,苏定平刚送走激动不已、在“龙光刻-1号”前一步三回头的秦家父女,便被唐平悄然引到了车间旁一处僻静角落。
这里只剩下精密仪器运转的低沉嗡鸣,隔绝了即将沸腾的人声噪动。
唐平背对着光刻机庞大的身影,脸上的凝重几乎要从皱纹里溢出来,方才在车间里那压得人喘不过气的忧虑此刻更是赤裸裸地挂满眉梢。
他搓了搓手,像是为了驱散寒意,也像是为了接下来的试探积攒点底气。
“苏专家,这次龙光刻-1号的成就,可谓是惊天动地!连雄鹰那边的顶尖实验室都望尘莫及啊!”
他顿了顿,身体微微前倾,声音压得极低。
“以您这样的才能见识,想必对世界上其他顶尖科技势力的底蕴也有独到看法。您看…雄鹰部落,这个庞然大物,未来发展轨迹会是怎样?它真的还能继续引领吗?”
苏定平闻言,嘴角微微向上弯起,那弧度里没有傲慢,只有一种洞穿世事的从容。
他端起桌上的茶杯,轻轻吹开浮叶,呷了一口,这才抬眼看向唐平,目光清澈而坚定。
“唐代表,部落和国家的发展,靠的是自力更生,汇聚众志。我们有句老话,志之所趋,无远弗届;穷山距海,不能限也。
过去的差距,是存在的,我们承认,但我们更相信赶超的力量。”
他放下茶杯,语气平缓却带着千钧之力。
“至于雄鹰部落?它当然有其深厚根基。
但是,在我看来,龙夏的前途,龙夏科技的未来,只要路子走对了,人心凝聚了,超越他们,是历史的必然,只是时间问题。”
这番话如同一盆冰水,浇在唐平仅存的一丝幻想上。
那清晰的拒绝,那对龙夏未来无可动摇的信心,让唐平最后一点念想也破灭了。
他脸上的笑容彻底僵住,眼底掠过一丝不易察觉的恼怒和慌乱。
“呵呵,苏专家真是志向高远,令人钦佩!佩服,佩服!”
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